中科微感MEMS气体传感器量产技术再次突破瓶颈

中科微感金属氧化物基MEMS气体传感器量产技术再次突破瓶颈。

以CM-A107S氢气传感器为例，晶圆级万颗批量生产，单颗LGA封装的MEMS氢气传感器初始阻值和响应值一致性偏差逼近5%，良品率接近98%。

本量产技术的突破，为人工智能嗅觉传感器的普遍应用推广打下坚实基础，为未来气味数字化应用提供了标准化和低成本的硬件解决方案。

随机抽取70颗CM-A107S氢气传感器（LGA封装），进行空气中每颗阻值和500 ppm氢气响应值测试统计，结果如下图所示。